一種大尺寸高密度無粘結(jié)相碳化鎢靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910450038.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110171975B 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN110171975B 申請公布日 2021-09-07
分類號 C04B35/56;C23C14/35 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 盛利文;謝志鵬;盛建華;安迪;戴金寧 申請（專利權(quán)）人 株洲萬融新材科技有限公司
代理機構(gòu) 湖南格創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 張文
地址 412000 湖南省株洲市天元區(qū)中達路9號C-6號車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種大尺寸高密度無粘結(jié)相碳化鎢靶材的制備方法，包括以下步驟：S1.配料；S2.球磨與篩分處理；S3.燒結(jié)處理；S4.后處理；所述原料由碳化鎢粉末和游離碳組成，所述燒結(jié)處理過程中同時施加動態(tài)的振蕩壓力。本發(fā)明在純碳化鎢粉末中引入游離碳，摒棄傳統(tǒng)的金屬粘結(jié)相，不但保證了靶材的純度，而且有利于提升磁控濺射涂層的質(zhì)量。本發(fā)明在燒結(jié)過程中引入動態(tài)的振蕩壓力，在碳化鎢粉體的燒結(jié)前期促進了顆粒重排，在燒結(jié)后期促進了殘余氣孔的排除，提升燒結(jié)密度的同時細化了晶粒；采用本發(fā)明的高壓振蕩助燒結(jié)還能在傳統(tǒng)熱壓燒結(jié)工藝基礎上，使燒結(jié)溫度下降50～200℃，制備出高密度細晶粒的碳化鎢靶材，改善鍍膜質(zhì)量。