氣相沉積爐及填料密封結(jié)構(gòu)的安裝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110208440.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113025993A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113025993A 申請公布日 2021-06-25
分類號 C23C16/44 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 康治政;詹林;王滋川;匡良明 申請（專利權(quán)）人 森松（江蘇）重工有限公司
代理機構(gòu) 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉新宇;張會華
地址 226532 江蘇省南通市如皋市長江鎮(zhèn)（如皋港區(qū)）森松路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)岢隽艘环N氣相沉積爐及填料密封結(jié)構(gòu)的安裝方法。該氣相沉積爐包括爐管、下管板和填料密封結(jié)構(gòu)。所述爐管穿過所述下管板，所述爐管和所述下管板通過所述填料密封結(jié)構(gòu)形成密封。所述填料密封結(jié)構(gòu)包括填料、管座、壓蓋和支耳結(jié)構(gòu)。所述管座固定連接于所述下管板，所述支耳結(jié)構(gòu)包括螺母、連接板和螺桿，所述連接板固定連接于所述壓蓋，所述螺桿能夠穿過所述連接板，所述螺桿的一端固定連接于所述下管板，所述螺桿和所述螺母通過螺紋配合連接，通過所述螺母能夠限制所述連接板在所述螺桿的軸向上的位置。