一種三氧化鉬濺射靶材、制備方法以及靶材模具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210392190.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114737159A 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN114737159A 申請公布日 2022-07-12
分類號 C23C14/34（2006.01）I;C04B35/495（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C04B35/626（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 席莎;崔玉青;周莎;朱琦;楊秦莉;張曉;李晶 申請（專利權(quán)）人 金堆城鉬業(yè)股份有限公司
代理機構(gòu) 西安恒泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 -
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種三氧化鉬濺射靶材、制備方法以及靶材模具。該制備方法先以三氧化鉬粉末溶液為原料進行噴霧造粒后，制得類球形三氧化鉬粉末，再將類球形三氧化鉬粉末裝填入靶材模具中，依次經(jīng)過液壓壓制、熱壓處理和加工處理后，制得三氧化鉬濺射靶材，該三氧化鉬濺射靶材的純度大于99.95％，致密度大于99.5％。本發(fā)明的三氧化鉬濺射靶材的制備方法，采用噴霧造粒和熱壓相結(jié)合的工藝，配合特制的靶材模具，最終制得的高純度、高致密度的三氧化鉬濺射靶材能夠滿足實際需求。