一種射頻電極饋入裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110414503.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113517168A 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN113517168A 申請公布日 2021-10-19
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/505（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱雙雙;劉強 申請（專利權(quán)）人 江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 張丹
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)漓江路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種射頻電極饋入裝置，其包括：支撐組件，具有散熱間隙；多個放置組件，沿第一方向布置于支撐組件上；每一放置組件包括設(shè)置于支撐組件的第一放置件和第二放置件，第一放置件和第二放置件分別位于散熱間隙在第一方向上的兩側(cè)；及多個電極組件，電極組件與放置組件一一對應(yīng)，每一電極組件均包括第一電極單元和第二電極單元，每一電極組件的第一電極單元和第二電極單元分別與對應(yīng)放置組件的第一放置件和第二放置件相連。本發(fā)明的射頻電極饋入裝置，可以容納多個石墨舟在支撐組件上，并通過多個電極組件配合多個放置組件，實現(xiàn)多個石墨舟的射頻電極饋入，使一個鍍膜設(shè)備的腔體能夠容納多個石墨舟，提高產(chǎn)能，降低單片電池片成本。