一種射頻電極饋入裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110414503.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113517168A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113517168A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/505（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱雙雙;劉強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 張丹
地址 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)漓江路11號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種射頻電極饋入裝置，其包括：支撐組件，具有散熱間隙；多個(gè)放置組件，沿第一方向布置于支撐組件上；每一放置組件包括設(shè)置于支撐組件的第一放置件和第二放置件，第一放置件和第二放置件分別位于散熱間隙在第一方向上的兩側(cè)；及多個(gè)電極組件，電極組件與放置組件一一對(duì)應(yīng)，每一電極組件均包括第一電極單元和第二電極單元，每一電極組件的第一電極單元和第二電極單元分別與對(duì)應(yīng)放置組件的第一放置件和第二放置件相連。本發(fā)明的射頻電極饋入裝置，可以容納多個(gè)石墨舟在支撐組件上，并通過(guò)多個(gè)電極組件配合多個(gè)放置組件，實(shí)現(xiàn)多個(gè)石墨舟的射頻電極饋入，使一個(gè)鍍膜設(shè)備的腔體能夠容納多個(gè)石墨舟，提高產(chǎn)能，降低單片電池片成本。