一種VCSEL激光器件及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911140336.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112825414A 公開（公告）日 2021-05-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN112825414A 申請(qǐng)公布日 2021-05-21
分類號(hào) H01S5/183;H01S5/0233;H01S5/023;H01S5/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃偉;曹宇星;汪洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳循光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郭偉剛
地址 518000 廣東省深圳市光明新區(qū)鳳凰街道高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)邦凱路9號(hào)邦凱科技工業(yè)園1棟辦公樓201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種VCSEL激光器件及其制備方法，該激光器件包括基板，還包括上、下表面均為自由曲面的折射式光學(xué)中空透鏡，其底部直接粘固于基板上。本發(fā)明的制備方法采用預(yù)制成陣列的光學(xué)透鏡，將其直接固置于基板上，再將其切割成單個(gè)獨(dú)立功能的單個(gè)VCSEL激光器件。不同于現(xiàn)有技術(shù)用事先預(yù)切割的帶有支撐臺(tái)的基板，將工程擴(kuò)束器固定在支撐臺(tái)上，后分離成單個(gè)器件，其產(chǎn)品成本昂貴，出光效率較低，而本發(fā)明中透鏡除了光學(xué)作用外還與基板直接粘接保護(hù)芯片和導(dǎo)線等，使用這種折射式的光學(xué)透鏡的VCSEL器件，透光效率高，生產(chǎn)工藝簡單，極大提高了生產(chǎn)效率，有效減少了器件封裝體積，也降低了封裝成本，提升了產(chǎn)品出光效率和器件質(zhì)量。