用于串聯(lián)VCSEL陣列的系統(tǒng)和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201980101161.0 申請日 -
公開(公告)號 CN114667653A 公開(公告)日 2022-06-24
申請公布號 CN114667653A 申請公布日 2022-06-24
分類號 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姜烔錫;錫瓦庫馬爾·蘭卡;賀永祥;汪洋 申請(專利權(quán))人 深圳循光科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市順天達專利商標代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市光明新區(qū)邦凱路9號1棟2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種VCSEL陣列(200),包括形成在單個芯片上的串聯(lián)VCSEL子陣列(1,2,3)。每個VCSEL子陣列(1,2,3)包括在半絕緣層(213)上制造的VCSEL發(fā)射器。VCSEL的N?金屬層(202,205)通過金屬結(jié)構(gòu)(210)與相鄰VCSEL的P?金屬層(204,207)電接觸。VCSEL子陣列的公共陰極觸點電連接于相鄰VCSEL子陣列的公共陽極觸點。為了減少泄漏,半絕緣層(213)的帶隙能級高于輸出光束的光子能量。