垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）陣列及制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201880099645.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113169522A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113169522A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01S5/42 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 汪洋;賀永祥 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳循光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市順天達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 郭偉剛 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市光明新區(qū)鳳凰街道高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)邦凱路9號(hào)邦凱科技工業(yè)園1棟辦公樓201 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）陣列，包括：基片（603）；在所述基片上形成規(guī)則圖案的多個(gè)VCSEL結(jié)構(gòu)，每個(gè)VCSEL結(jié)構(gòu)包括第一反射器區(qū)域、有源區(qū)域和第二反射器區(qū)域，所述多個(gè)VCSEL結(jié)構(gòu)能夠同時(shí)通電；第一金屬（604），所述第一金屬（604）電連接選定數(shù)量而非全部的所述VCSEL結(jié)構(gòu)以使得當(dāng)僅通電所述選定數(shù)量的所述VCSEL結(jié)構(gòu)（VCSEL 1）時(shí)，所述選定數(shù)量的所述VCSEL結(jié)構(gòu)形成預(yù)定的不規(guī)則圖案的發(fā)射器；以及第二金屬（605），所述第二金屬（605）電連接未與所述第一金屬（604）電連接的所述VCSEL結(jié)構(gòu)中的至少某些VCSEL結(jié)構(gòu)（VCSEL 2）。所述第一金屬（604）和所述第二金屬（605）彼此電絕緣。 |
