修補破損的石墨舟葉片的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810065672.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108257898A 公開（公告）日 2018-07-06
申請公布號 CN108257898A 申請公布日 2018-07-06
分類號 H01L21/673;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于洋;胡榮亮;和江變 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古日月太陽能科技有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 闞梓瑄;郜文剛
地址 010111 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意開發(fā)工業(yè)新區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種修補破損的石墨舟葉片的方法，包括：將發(fā)生破損的石墨舟的葉片卸下；在破損的葉片上設(shè)定一修補區(qū)域；沿著修補區(qū)域切割掉破損部位，利用修補工具在報廢石墨舟的葉片上截取待用部分，該待用部分與切割后的待修補的部位能夠拼合為一個完整葉片并裝配在石墨舟，然后在夾舟裝具上進(jìn)行校準(zhǔn)修復(fù)；或者，在報廢石墨舟葉片上裁切補丁件，將補丁部件壓蓋固定在修補區(qū)域內(nèi)的破損部位的裂紋的兩側(cè)，裝配石墨舟，然后在夾舟裝具上進(jìn)行校準(zhǔn)修改；清洗修補后的石墨舟并烘干；在修復(fù)后的石墨舟內(nèi)插入假硅片，放入管式減反射薄膜沉積儀內(nèi)，并運行鍍膜工藝；按順序取出假硅片，根據(jù)各位置處假硅片的減反膜情況，微調(diào)整修補部位位置。