管式化學氣相沉積儀及其爐門裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721555866.4 申請日 -
公開（公告）號 CN207685342U 公開（公告）日 2018-08-03
申請公布號 CN207685342U 申請公布日 2018-08-03
分類號 C23C16/44 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 和江變;邢智龍;于洋;張國文;周聰林 申請（專利權）人 內蒙古日月太陽能科技有限責任公司
代理機構 北京律智知識產權代理有限公司 代理人 闞梓瑄;王衛(wèi)忠
地址 010010內蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意開發(fā)工業(yè)新區(qū)（沙爾沁鎮(zhèn)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種管式化學氣相沉積儀及其爐門裝置，爐門裝置包括第一位移機構、第二位移機構以及爐門本體。第一位移機構包括第一導引件及第一滑動件。第一導引件固定于爐管且位于管口一側，且沿垂直于管口所在平面的第一水平方向延伸。第一滑動件滑動設于第一導引件且由第一驅動件驅動。第二位移機構包括第二導引件及第二滑動件。第二導引件固定于第一滑動件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸。第二滑動件滑動設于第二導引件且由第二驅動件驅動。爐門本體通過爐門支架固定連接于第二滑動件，爐門本體為實心結構。