一種半導體設備專用高精度耐腐防變形機架總成

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922039000.3 申請日 -
公開（公告）號 CN210920711U 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN210920711U 申請公布日 2020-07-03
分類號 F16M11/04;F16F15/04 分類 -
發(fā)明人 吉學東 申請（專利權）人 南通通州東大機械有限公司
代理機構 鄭州芝麻知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 王越
地址 226360 江蘇省南通市通州區(qū)平東工業(yè)園區(qū)西環(huán)路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體設備專用高精度耐腐防變形機架總成，包括機架以及機架中心處設置第一夾板以及第二夾板，所述第二夾板左側設置有推板，且推板與第二夾板之間滑動連接有交叉架的頂端，并且推板與第二夾板之間通過壓縮彈簧彈性連接，所述推板中心處通過轉軸轉動連接有轉動支桿，且轉動支桿頂端滑動連接有滑桿，所述滑桿側面開設有限位槽，所述第二夾板側面開設有限位卡，且限位卡與限位槽卡接。本實用新型中，采用了多個距離控制結構，實現(xiàn)了第一夾板與第二夾板之間的距離得到較為精密的控制，采用了推桿防壓結構，減少裝置受到損壞的可能性。