一種高α相氮化硅的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410446973.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104291829B 公開(kāi)（公告）日 2015-11-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN104291829B 申請(qǐng)公布日 2015-11-25
分類號(hào) C01B21/068(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 張亞光;杜寧;張輝;楊德仁 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州硅諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡紅娟
地址 313100 浙江省湖州市長(zhǎng)興縣經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)高鐵路669號(hào)國(guó)家大學(xué)科技園12號(hào)樓236室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種高α相氮化硅的制備方法，包括以下步驟：首先將質(zhì)量比為5～45:100的納米級(jí)硅粉和微米級(jí)硅粉充分混合，得到硅粉原料；氮?dú)鈿夥障?，將所述的硅粉原料加熱?00～1200℃，保溫2～20h，再升溫至1200～1350℃，待氮化反應(yīng)完全后得到氮化硅。本發(fā)明提供了一種高α相氮化硅的制備方法，通過(guò)在微米級(jí)硅粉中摻入納米級(jí)硅粉，同時(shí)控制氮化溫度，抑制硅粉的自燒結(jié)，進(jìn)而獲得了高含量的α相氮化硅；本制備方法工藝簡(jiǎn)單、性能可控，且生產(chǎn)周期短、極大地降低了生產(chǎn)能耗，適合于大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)。