一種高α相氮化硅的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410446973.8 申請日 -
公開（公告）號 CN104291829A 公開（公告）日 2015-01-21
申請公布號 CN104291829A 申請公布日 2015-01-21
分類號 C04B35/584(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I;C01B21/068(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 張亞光;杜寧;張輝;楊德仁 申請（專利權(quán)）人 杭州硅諾科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡紅娟
地址 313100 浙江省湖州市長興縣經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)高鐵路669號國家大學(xué)科技園12號樓236室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種高α相氮化硅的制備方法，包括以下步驟：首先將質(zhì)量比為5～45:100的納米級硅粉和微米級硅粉充分混合，得到硅粉原料；氮氣氣氛下，將所述的硅粉原料加熱到800～1200℃，保溫2～20h，再升溫至1200～1350℃，待氮化反應(yīng)完全后得到氮化硅。本發(fā)明提供了一種高α相氮化硅的制備方法，通過在微米級硅粉中摻入納米級硅粉，同時控制氮化溫度，抑制硅粉的自燒結(jié)，進而獲得了高含量的α相氮化硅；本制備方法工藝簡單、性能可控，且生產(chǎn)周期短、極大地降低了生產(chǎn)能耗，適合于大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)。