一種MEMS濾波器和制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110600933.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113292040A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113292040A 申請公布日 2021-08-24
分類號 B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 周華芳 申請（專利權(quán)）人 成都海威華芯科技有限公司
代理機構(gòu) 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張巨箭
地址 610029四川省成都市雙流區(qū)中國（四川）自由貿(mào)易試驗區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)物聯(lián)大道88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS濾波器和制備方法，濾波器包括：襯底；第一反射層，位于所述襯底上方；犧牲層，位于所述第一反射層上，所述犧牲層具有空腔；第二反射層，位于所述犧牲層上，所述第二反射層對應(yīng)所述空腔位置為具有釋放孔的浮橋區(qū)域，所述浮橋區(qū)域內(nèi)還具有貫穿第二反射層的環(huán)形防破裂梁；所述防破裂梁的上下兩面中的其中一面為凹面，另外一面為凸面。本發(fā)明的防破裂梁內(nèi)部是一個工作平面，平行度很好，防破裂梁區(qū)域類似一系列微型彈簧，可增強整個浮橋區(qū)域的韌性，連接了防破裂梁的兩側(cè)浮橋，使得連接上更為牢固，浮橋區(qū)域不容易破裂，即不會因為靜電力的驅(qū)動使得浮橋區(qū)域上下浮動造成浮橋區(qū)域的破裂。