一種MEMS濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110603290.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113321178A 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN113321178A 申請公布日 2021-08-31
分類號 B81B7/02（2006.01）I 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 周華芳 申請（專利權）人 成都海威華芯科技有限公司
代理機構 成都華風專利事務所（普通合伙） 代理人 張巨箭
地址 610029四川省成都市雙流區(qū)中國（四川）自由貿(mào)易試驗區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)物聯(lián)大道88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS濾波器，屬于濾波器技術領域，包括襯底；襯底正背面依次生長有隔離層、第一DBR介質膜、犧牲層、第二DBR介質膜；襯底正面設有上電極、下電極，上電極底部與襯底正面的第二DBR介質膜的底層膜接觸，下電極底部與襯底背面的第一DBR介質膜的頂層膜接觸；襯底正面的犧牲層具有空腔，襯底正面的第二DBR介質膜對應所述空腔位置為浮橋區(qū)域。本發(fā)明濾波器為雙面結構能夠保證器件的平整度，解決現(xiàn)有技術單面長膜引起的器件翹曲，同時，本申請浮橋區(qū)域為密封閉環(huán)浮橋，相較于現(xiàn)有鏤空浮橋，提升了結構強度，降低了襯底正面的第二DBR介質膜的破裂風險。