超薄液膜旋離式汽化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911421703.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110965046A 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN110965046A 申請公布日 2020-04-07
分類號 C23C16/448;C23C16/40;C03C17/245 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙年偉;王道德;袁曙光;劉起英;孔繁華;曹涯雁;張永杰;史國華;房振華;連超;李成養(yǎng) 申請（專利權）人 威海中玻新材料技術研發(fā)有限公司
代理機構 北京怡豐知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 于振強
地址 264200 山東省威海市臨港經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)草廟子鎮(zhèn)棋山路-516-39號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種超薄液膜旋離式汽化裝置，其解決了現(xiàn)有汽化裝置鍍膜氣相不均勻，不易徹底汽化，汽化裝置大，效率不高的技術問題，其包括筒體、物料預熱裝置、載氣加熱裝置、混合裝置和供熱裝置，所述筒體的內部設有刮板和刮板支撐端蓋及密封蓋，支撐端蓋內部設有油加熱管，所述筒體的前端通過頂部物料進口和側面載氣進口分別與所述物料預熱裝置和所述載氣加熱裝置相連接，所述筒體的后端通過尾部混合汽出口和筒體進出油口分別與所述前驅體原料混合汽混合裝置和供熱裝置相連接。本發(fā)明可廣泛應于鍍膜玻璃用前驅體原料的超薄液膜汽化。