一種采用非接觸電極的高穩(wěn)定長度伸縮模石英溫度傳感器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910350879.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110044511B | 公開（公告）日 | 2019-07-23 |
| 申請公布號 | CN110044511B | 申請公布日 | 2019-07-23 |
| 分類號 | G01K7/32(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 林江;高新明;張濱華 | 申請（專利權(quán)）人 | 哈爾濱華明傳感科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳潤明 |
| 地址 | 150028黑龍江省哈爾濱市松北區(qū)智谷二街3043號哈爾濱松北（深圳龍崗）科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園10號樓7層703室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種采用非接觸電極的高穩(wěn)定長度伸縮模石英溫度傳感器，涉及傳感器領(lǐng)域；該傳感器包括封裝體以及位于封裝體內(nèi)的諧振組件，諧振組件由石英晶體制作而成；所述諧振組件為一體式結(jié)構(gòu)，其包括雙工字梁底座、支撐框體以及位于支撐框體內(nèi)的m個梳齒片和n個諧振臂，m和n均為正整數(shù)，m＞n，m個梳齒片上金屬電極的數(shù)量為2n。本發(fā)明公開了一種采用非接觸電極、能夠防止和抑制振臂諧振能量外泄的多振臂長度伸縮模石英溫度傳感器新結(jié)構(gòu)，摸索一種采用耐高溫、耐老化的四層復合金屬薄膜的非接觸電極的結(jié)構(gòu)，從而最高工作溫度可達到300℃以上，并且降低了熱遲滯，提高了其長期穩(wěn)定性。?? |
