一種采用非接觸電極的高穩(wěn)定長度伸縮模石英溫度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910350879.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110044511A 公開（公告）日 2019-07-23
申請公布號 CN110044511A 申請公布日 2019-07-23
分類號 G01K7/32 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林江;高新明;張濱華 申請（專利權(quán)）人 哈爾濱華明傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京艾皮專利代理有限公司 代理人 丁艷俠
地址 150028 黑龍江省哈爾濱市松北區(qū)創(chuàng)新一路2727號726室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種采用非接觸電極的高穩(wěn)定長度伸縮模石英溫度傳感器，涉及傳感器領(lǐng)域；該傳感器包括封裝體以及位于封裝體內(nèi)的諧振組件，諧振組件由石英晶體制作而成；所述諧振組件為一體式結(jié)構(gòu)，其包括雙工字梁底座、支撐框體以及位于支撐框體內(nèi)的m個(gè)梳齒片和n個(gè)諧振臂，m和n均為正整數(shù)，m＞n，m個(gè)梳齒片上金屬電極的數(shù)量為2n。本發(fā)明公開了一種采用非接觸電極、能夠防止和抑制振臂諧振能量外泄的多振臂長度伸縮模石英溫度傳感器新結(jié)構(gòu)，摸索一種采用耐高溫、耐老化的四層復(fù)合金屬薄膜的非接觸電極的結(jié)構(gòu)，從而最高工作溫度可達(dá)到300℃以上，并且降低了熱遲滯，提高了其長期穩(wěn)定性。