一種晶圓測試探針設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121867532.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216900623U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216900623U 申請公布日 2022-07-05
分類號 G01R1/04（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃曉輝;周永昌;董琪琪 申請（專利權）人 飛锃半導體（上海）有限公司
代理機構 上海申新律師事務所 代理人 -
地址 200120上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓領域，具體的說是一種晶圓測試探針設備，包括操作機構，所述操作機構包括驅動機構，所述驅動機構的輸出軸通過聯(lián)軸器固定連接有轉軸，所述轉軸的頂端固定安裝有支撐平臺，所述支撐平臺的頂部固定安裝有旋轉臺，所述旋轉臺的頂部開設有限位槽；通過操作機構、驅動電機、轉軸、支撐平臺、旋轉臺和限位槽的配合安裝，實現(xiàn)了便于旋轉限位的功能，在使用過程中，可通過驅動電機帶動轉軸而產生的電流，對旋轉臺上方的晶圓進行旋轉，使得該旋轉臺上的晶圓各個角落都能夠檢測到，而限位槽的設置，可以對圓晶進行限位，使得該圓晶能夠不易移位，解決了一般測試探針設備不便于旋轉的問題，提高了測試探針設備的效率。