一種晶圓清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121869686.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216902806U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216902806U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;B08B5/02（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 黃曉輝;周永昌;董琪琪 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 飛锃半導(dǎo)體（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申新律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于晶圓領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種晶圓清洗設(shè)備，包括支撐板，所述支撐板的內(nèi)部固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的頂端固定安裝有旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，所述固定機(jī)構(gòu)包括連接板，所述連接板的外壁固定安裝有電動(dòng)伸縮套桿；通過(guò)固定機(jī)構(gòu)、連接板、電動(dòng)伸縮套桿、固定槽、連接塊、支撐塊、伸縮彈簧和防護(hù)墊的配合安裝，實(shí)現(xiàn)了便于伸縮便于防護(hù)晶圓的功能，在使用過(guò)程中，該電動(dòng)伸縮套桿向內(nèi)側(cè)伸縮，達(dá)到對(duì)晶圓進(jìn)行夾持固定，而防護(hù)墊的設(shè)置，可以對(duì)晶圓進(jìn)行防護(hù)，避免該電動(dòng)伸縮套桿過(guò)硬，而容易對(duì)晶圓造成損壞，而解決了一般清洗設(shè)備不便于固定夾持的問(wèn)題，提高了清洗設(shè)備的效率。 |
