一種Ta2O5陶瓷靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110380106.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113213926A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113213926A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) C04B35/495;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/28 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 劉秉寧;左寧偉;征衛(wèi)星;羅文;饒曉方 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏中色新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國和平利用軍工技術(shù)協(xié)會(huì)專利中心 代理人 周玄;李智婧
地址 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)冶金路119號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明給出了一種Ta2O5陶瓷靶材的制備方法，包括：步驟一、將Ta(OH)5粉末依次進(jìn)行低溫煅燒和高溫煅燒，得到Ta2O5粉末；所述低溫煅燒的溫度為600～750℃，低溫煅燒的時(shí)間為3～6小時(shí)，低溫煅燒的氣氛為空氣氣氛；所述高溫煅燒的溫度為800～1200℃，高溫煅燒的時(shí)間為2～8小時(shí)，高溫煅燒的氣氛為氧氣氣氛；步驟二、將去離子水和分散劑加入Ta2O5粉末中，得到Ta2O5料漿后依次進(jìn)行研磨、霧化造粒、團(tuán)化、模壓、冷等靜壓和常壓氧氣氣氛燒結(jié)，得到鍍膜用的Ta2O5陶瓷靶材。本發(fā)明還給出了一種Ta2O5陶瓷靶材。本發(fā)明的Ta2O5陶瓷靶材的氣孔率小、致密度高(相對(duì)密度≥99％)。