晶硅PERC太陽電池雙面鈍化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910154712.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109888057A 公開（公告）日 2019-06-14
申請公布號 CN109888057A 申請公布日 2019-06-14
分類號 H01L31/18（2006.01）I; B82Y30/00（2011.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉娟 申請（專利權）人 江蘇潤陽新能源科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)前進東路帝寶金融大廈20樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種PERC晶硅太陽能電池片雙面鈍化方法，涉及太陽能電池制造領域，該晶體硅片經(jīng)過制絨、擴散、刻蝕拋光和氧化工藝，其特征在于，該方法包括：鈍化時，于該晶體硅片的雙面鍍AlOX薄膜，AlOX薄膜對該晶體硅片進行表面鈍化，再于該AlOX薄膜上鍍SiOX薄膜。其中，該AlOX厚度范圍為2?10nm，SiOX薄膜厚度為2?5nm，本發(fā)明提高了氧化鋁鈍化效果，鈍化效果好、晶體硅太陽電池開路電壓高，同時有效提高了太陽能光伏電池片的光電轉換效率。