刻蝕機(jī)防止撞片的檢測方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910638720.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112242313B 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN112242313B 申請公布日 2021-11-16
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳明俊;徐雷;張軍 申請（專利權(quán)）人 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 200233上海市徐匯區(qū)虹漕路385號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種刻蝕機(jī)防止撞片的檢測方法及系統(tǒng)，刻蝕機(jī)包括機(jī)臺、主工藝腔、出口腔、出口腔內(nèi)門和出口腔傳送手臂，出口腔內(nèi)門包括一開門電磁閥回路，該回路包括一電壓輸出引腳。該系統(tǒng)包括探測器、第一輔助繼電器，繼電器的常閉觸點接入開門電磁閥回路。出口腔傳送手臂進(jìn)入主工藝腔前，電壓輸出引腳輸出高電平信號；探測器探測出口腔傳送手臂上是否有圓晶片；若是則輸出控制信號，接通第一輔助繼電器的線圈；斷開第一輔助繼電器的常閉觸點；機(jī)臺停機(jī)。本發(fā)明通過探測器探測出口腔傳送手臂上是否有圓晶片，為是時斷開第一輔助繼電器的常閉觸點，使內(nèi)門不能正常打開，從而避免圓晶片撞片、疊片而造成的圓晶片報廢，提高產(chǎn)品的成品率。