場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)的制備方法及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111050598.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113903667A | 公開（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113903667A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-07 |
| 分類號(hào) | H01L21/336（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;G06F30/20（2020.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 車鑫川;張潔;劉東棟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 楊東明;羅朗 |
| 地址 | 200233上海市徐匯區(qū)虹漕路385號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)的制備方法及系統(tǒng)，所述制備方法包括：預(yù)設(shè)環(huán)推進(jìn)信息表，環(huán)推進(jìn)信息表存儲(chǔ)有制備場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)的高溫爐管的環(huán)推進(jìn)信息與應(yīng)用場(chǎng)景的映射表，環(huán)推進(jìn)信息包括環(huán)推進(jìn)溫度和環(huán)推進(jìn)時(shí)長(zhǎng)，應(yīng)用場(chǎng)景包括應(yīng)用設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境；獲取當(dāng)前場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)的當(dāng)前應(yīng)用場(chǎng)景；根據(jù)環(huán)推進(jìn)信息表獲取與當(dāng)前應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)應(yīng)的當(dāng)前環(huán)推進(jìn)信息；在當(dāng)前場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)的環(huán)推進(jìn)階段基于當(dāng)前環(huán)推進(jìn)信息進(jìn)行制備。本發(fā)明通過(guò)改變場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)的爐管推進(jìn)的時(shí)間及溫度，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)有效增加終端柱狀結(jié)的曲率半徑，減少電場(chǎng)集中，使得原本器件擊穿電壓降低的問(wèn)題得到解決，最終達(dá)到在不增加器件功耗的基礎(chǔ)上提高了器件的擊穿電壓性能。 |
