超級(jí)結(jié)結(jié)構(gòu)及其制作方法、超級(jí)結(jié)器件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010235845.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113471068A | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113471068A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/225;H01L29/06 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 遲延慶 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 薛琦;林嵩 |
| 地址 | 200233 上海市徐匯區(qū)虹漕路385號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種超級(jí)結(jié)結(jié)構(gòu)及其制作方法、超級(jí)結(jié)器件，所述制作方法包括：選取與產(chǎn)品片尺寸一致的陪片；采用光刻刻蝕工藝在陪片上刻蝕出用于形成超級(jí)結(jié)結(jié)構(gòu)的第一通孔；在產(chǎn)品片的表面生長出一層氧化層；在陪片上加電，將陪片和產(chǎn)品片（氧化層面）貼附在一起；通過陪片上的第一通孔向產(chǎn)品片中注入與產(chǎn)品片中摻雜離子類型相反的目標(biāo)離子，以形成N型和P型相互間隔的超級(jí)結(jié)結(jié)構(gòu)；其中，相鄰的N型結(jié)構(gòu)的離子濃度與P型結(jié)構(gòu)的離子濃度相平衡。本發(fā)明的制作工藝具有工藝簡單、成本低、工藝穩(wěn)定、能夠保證產(chǎn)品良率以及重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。 |
