一種基片固定夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022003551.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213013080U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213013080U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | C23C14/50(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江美迪凱現(xiàn)代光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州華知專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張德寶 |
| 地址 | 317500浙江省臺(tái)州市溫嶺市產(chǎn)學(xué)研工業(yè)園科技大道 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及基片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基片固定夾具，其特征是，包括兩塊相契合的夾板和用于將兩塊夾板固定的磁鐵，兩塊所述的夾板均呈閉合的邊框狀，且所述夾板的內(nèi)側(cè)向內(nèi)延伸出用于放置、夾持基片的內(nèi)沿，所述內(nèi)沿低于夾板設(shè)置；所述夾板上表面開設(shè)有與所述內(nèi)沿連通的排水槽；兩塊所述的夾板均為樹脂材質(zhì)；其中一塊所述的夾板上設(shè)有至少兩個(gè)定位柱，另一塊所述的夾板上開設(shè)有與定位柱相對(duì)應(yīng)的定位通孔，所述磁鐵通過相互之間的吸引力對(duì)兩塊夾板進(jìn)行夾持、固定。本夾具通過兩塊夾板對(duì)基片進(jìn)行夾持、固定，固定過程簡單；排水槽能夠及時(shí)排出夾具中基片上的水漬；借助磁石能夠?qū)⒐潭ㄓ谢膴A板吸附固定在鐵質(zhì)框架上，方便濺射鍍膜。?? |
