一種鍍膜夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121879215.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215251150U 公開（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215251150U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) C23C14/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王剛;葉煒昊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江美迪凱現(xiàn)代光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華知專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 龍湖浩
地址 317500浙江省臺(tái)州市溫嶺市產(chǎn)學(xué)研工業(yè)園科技大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種鍍膜夾具，包括底座，底座底部設(shè)置有連接機(jī)臺(tái)的對(duì)位孔、凸臺(tái)和卡槽，底座上部開設(shè)有基板座槽，基板座槽內(nèi)壁上沿圓周均勻設(shè)置有對(duì)位凸起，基板座槽內(nèi)安置有基板座，基板座外對(duì)應(yīng)對(duì)位凸起設(shè)置有對(duì)位口，基板座上表面開設(shè)有基板槽，基板槽內(nèi)邊緣設(shè)置有一圈臺(tái)階面，基板槽內(nèi)安置基板，臺(tái)階面撐起基板。該鍍膜夾具通過(guò)底座上設(shè)置基板座槽和對(duì)應(yīng)基板座配合，需要針對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行鍍膜時(shí)只需要更換對(duì)應(yīng)基板座，方便快捷，更換成本低，節(jié)約成本。同時(shí)基板槽內(nèi)邊緣設(shè)置有一圈臺(tái)階面，基板槽內(nèi)安置基板，臺(tái)階面撐起基板，讓片不與底座進(jìn)行直接接觸，減少劃痕和塵埃顆粒對(duì)基板的影響。