一種拋光液用基液及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810049655.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108084888A 公開（公告）日 2018-05-29
申請公布號 CN108084888A 申請公布日 2018-05-29
分類號 C09G1/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 蔣秋菊 申請（專利權）人 合肥京東方半導體有限公司
代理機構 大連創(chuàng)達專利代理事務所（普通合伙） 代理人 蔣秋菊;合肥京東方半導體有限公司
地址 116000 遼寧省大連市甘井子區(qū)金龍北路51號3-3-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種拋光液用基液及其制備方法，屬于精密加工領域。一種拋光液用基液的制備方法，包括下述工藝步驟：將SiO2納米粒子進行預處理；制備共聚物溶液，將預處理所得SiO2納米粒子溶于步驟所得共聚物溶液中，超聲分散，干燥；將干燥所得SiO2納米粒子按與介質溶劑的質量比為10:4~8分散于介質溶劑中，超聲分散，得拋光液用基液。與現(xiàn)有技術提供的非牛頓流體相比，本發(fā)明所述方法包含了兩次改性的過程，一方面保證了制備過程中二氧化硅納米粒子具有好的分散性，另一方面在使用該非牛頓流體進行拋光時，拋光液內(nèi)納米粒子粒子簇的形成，保證了拋光效果和速率。