一種拋光液用基液及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810049655.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108084888B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-05-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108084888B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-05-29 |
| 分類號(hào) | C09G1/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 蔣秋菊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥京東方半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 趙娟 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站區(qū)工業(yè)園內(nèi) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種拋光液用基液及其制備方法，屬于精密加工領(lǐng)域。一種拋光液用基液的制備方法，包括下述工藝步驟：將SiO2納米粒子進(jìn)行預(yù)處理；制備共聚物溶液，將預(yù)處理所得SiO2納米粒子溶于步驟所得共聚物溶液中，超聲分散，干燥；將干燥所得SiO2納米粒子按與介質(zhì)溶劑的質(zhì)量比為10:4~8分散于介質(zhì)溶劑中，超聲分散，得拋光液用基液。與現(xiàn)有技術(shù)提供的非牛頓流體相比，本發(fā)明所述方法包含了兩次改性的過(guò)程，一方面保證了制備過(guò)程中二氧化硅納米粒子具有好的分散性，另一方面在使用該非牛頓流體進(jìn)行拋光時(shí)，拋光液內(nèi)納米粒子粒子簇的形成，保證了拋光效果和速率。?? |
