一種液晶玻璃基板減薄加工用刻蝕液噴淋裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120747467.8 申請日 -
公開(公告)號 CN214528730U 公開(公告)日 2021-10-29
申請公布號 CN214528730U 申請公布日 2021-10-29
分類號 C03C15/00(2006.01)I 分類 玻璃;礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王偉 申請(專利權(quán))人 合肥京東方半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 練蘭英
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)工業(yè)園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及玻璃基板加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種液晶玻璃基板減薄加工用刻蝕液噴淋裝置,包括底板和伺服電機,所述底板上設(shè)置有可沿水平方向往復(fù)移動的支撐板,所述支撐板上設(shè)置有用于吸附玻璃基板的真空吸盤,且所述真空吸盤與轉(zhuǎn)動板連接后可進行一定角度的翻轉(zhuǎn),所述底板上與所述伺服電機相對的一端還設(shè)置有防濺罩以及兩個支撐桿。本實用新型中,通過將刻蝕液的噴淋以及后續(xù)的清洗、連同清洗后玻璃基板的烘干,從而將整個玻璃基板的減薄工藝內(nèi)縮在一個設(shè)備內(nèi)進行處理,提高了加工效率的同時也降低了多個工序之間進行配合所存在的誤差,降低了體力勞動的消耗。