一種基于光學(xué)平臺罩箱用的承載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922143953.4 申請日 -
公開(公告)號 CN211563032U 公開(公告)日 2020-09-25
申請公布號 CN211563032U 申請公布日 2020-09-25
分類號 B01L9/02(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 謝國平;王秋桃;鄭岑 申請(專利權(quán))人 泰州炬昕微電子有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 225300江蘇省泰州市海陵區(qū)鳳凰東路76號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于光學(xué)平臺罩箱用的承載臺,包括支撐腿、蜂窩芯、罩箱和冷卻支撐架,所述支撐腿頂部通過焊接固定連接有底板,所述底板底部內(nèi)壁通過焊接固定連接有蜂窩芯,本實用新型通過設(shè)置的冷卻支撐架以及循環(huán)冷卻水管,實現(xiàn)了在光學(xué)平臺上罩箱用的承載臺使用時,罩箱內(nèi)的儀器產(chǎn)生的熱量通過熱傳導(dǎo)傳遞給頂板上,頂板熱量傳遞給冷卻支撐架,通過循環(huán)冷卻水管中冷卻水的持續(xù)熱交換進行吸收,防止儀器熱量聚集,從而影響儀器的使用穩(wěn)定性,同時通過工程螺紋孔落入的灰塵以及水漬通過盛接槽進行盛接,防止灰塵以及水漬進入下方的蜂窩芯中造成腐蝕,需要清洗時只需打開側(cè)開門,抽出盛接槽即可進行沖洗,方便快捷。??