晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910057363.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101905433A 公開（公告）日 2010-12-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN101905433A 申請(qǐng)公布日 2010-12-08
分類號(hào) B24B7/22(2006.01)I;B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 盧建偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昭進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201718 上海市青浦區(qū)金澤鎮(zhèn)金鷹南路1號(hào)5-7幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用以對(duì)所述磨頭的前、后，左、右傾斜角度進(jìn)行調(diào)整，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)至少包括有第一拖板、活動(dòng)結(jié)合于所述第一拖板的第二拖板、及活動(dòng)結(jié)合于所述第二拖板的磨頭座，其重點(diǎn)是藉由所述垂向斜塊的傾斜面抵觸所述縱向圓軸的弧面，以使所述垂向斜塊的傾斜面垂向運(yùn)動(dòng)時(shí)迫使所述縱向圓軸于橫向活動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述磨頭座繞軸心前頃或后仰調(diào)整，以及藉由第一螺孔板及第二螺孔板與縱向調(diào)整件的結(jié)合，利用螺紋的螺距差值達(dá)到精確的左、右傾斜角度調(diào)整，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明不但便于調(diào)節(jié)操作，而且還可以達(dá)成二維空間的精確調(diào)節(jié)，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中調(diào)節(jié)操作極為不便，費(fèi)時(shí)費(fèi)力而降低了工作效率等諸多缺點(diǎn)。