晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤(pán)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910057364.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101905434A 公開(kāi)（公告）日 2010-12-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN101905434A 申請(qǐng)公布日 2010-12-08
分類(lèi)號(hào) B24B7/22(2006.01)I;B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 盧建偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 昭進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201718 上海市青浦區(qū)金澤鎮(zhèn)金鷹南路1號(hào)5-7幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤(pán)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面、中心轉(zhuǎn)軸、及法蘭，所述法蘭周緣具有至少三個(gè)均勻分布的第一螺孔，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面具有對(duì)應(yīng)所述第一螺孔的第二螺孔，其主要包括旋設(shè)于所述第一螺孔的微調(diào)空心螺絲、用以對(duì)所述微調(diào)空心螺絲調(diào)節(jié)的空心螺帽，位于所述微調(diào)空心螺絲與所述可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面之間的球面墊圈及球面墊座，以及將所述空心螺帽、微調(diào)空心螺絲、球面墊圈及球面墊座鎖固的緊固螺栓，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，微調(diào)元件和鎖固元件之間相互獨(dú)立，且采用了球面墊座及球面墊圈結(jié)構(gòu)，不但使調(diào)節(jié)操作變得容易，還解決了現(xiàn)有技術(shù)中靠螺絲旋進(jìn)旋出調(diào)節(jié)而引起的不精確及不牢固的問(wèn)題。