晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910057362.3 申請日 -
公開（公告）號 CN101905432A 公開（公告）日 2010-12-08
申請公布號 CN101905432A 申請公布日 2010-12-08
分類號 B24B7/22(2006.01)I;B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 盧建偉 申請（專利權）人 昭進半導體設備（上海）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 201718 上海市青浦區(qū)金澤鎮(zhèn)金鷹南路1號5-7幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，包括機座、中心轉軸、以及藉由所述中心轉軸可轉動地設置于所述機座上的可轉動臺面，其中，所述機座與所述可轉動臺面之間均勻布設有多個氣動元件，所述氣動元件經加壓后以產生推力將所述可轉動臺面升起，使所述可轉動臺面呈懸浮狀態(tài)，并于轉動時實現(xiàn)零磨擦，以此用于解決現(xiàn)有技術中需要在可轉動臺面與機座之間添加潤滑油而造成的晶圓污染問題。