晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920211038.8 申請日 -
公開（公告）號 CN201559119U 公開（公告）日 2010-08-25
申請公布號 CN201559119U 申請公布日 2010-08-25
分類號 B24B37/04(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 盧建偉 申請（專利權(quán)）人 昭進半導體設備（上海）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201718 上海市青浦區(qū)金澤鎮(zhèn)金鷹南路1號5-7幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)，用以對所述磨頭的前、后，左、右傾斜角度進行調(diào)整，所述調(diào)節(jié)機構(gòu)至少包括有第一拖板、活動結(jié)合于所述第一拖板的第二拖板、及活動結(jié)合于所述第二拖板的磨頭座，其重點是藉由所述垂向斜塊的傾斜面抵觸所述縱向圓軸的弧面，以使所述垂向斜塊的傾斜面垂向運動時迫使所述縱向圓軸于橫向活動，進而帶動所述磨頭座繞軸心前頃或后仰調(diào)整，以及藉由第一螺孔板及第二螺孔板與縱向調(diào)整件的結(jié)合，利用螺紋的螺距差值達到精確的左、右傾斜角度調(diào)整，與現(xiàn)有技術相比，本實用新型不但便于調(diào)節(jié)操作，而且還可以達成二維空間的精確調(diào)節(jié)，進而解決了現(xiàn)有技術中調(diào)節(jié)操作極為不便，費時費力而降低了工作效率等諸多缺點。