一種pvd膜檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122088661.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216411015U 公開（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN216411015U 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類號(hào) G01N17/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 郭維偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京準(zhǔn)非晶真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳紫晴專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳映輝
地址 210000江蘇省南京市玄武區(qū)鎖金一村5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種pvd膜檢測(cè)裝置，涉及一種能夠?qū)vd膜進(jìn)行鹽霧試驗(yàn)檢測(cè)的裝置，屬于材料工程領(lǐng)域。提供的一種通過將多個(gè)試樣的沉積面密封貼合，通過內(nèi)部的循環(huán)系統(tǒng)，配合鹽霧進(jìn)行沉積面位置的pvd膜鹽霧試驗(yàn)的檢測(cè)的裝置，包括主體固定裝置、霧化裝置、試樣放置裝置，所述固定裝置包括主體箱、底座、中部隔板、進(jìn)液管、排液管、內(nèi)箱體、箱蓋、控制柜、壓力控制箱，主體箱置于底座上，壓力控制箱置于底座上，且位于主體箱一側(cè)，控制柜置于壓力控制箱上，箱蓋蓋合置于主體箱上，內(nèi)箱體置于主體箱內(nèi)，中部隔板置于內(nèi)箱體和主體箱之間，內(nèi)箱體和中部隔板之間通過連接板連接，能夠僅針對(duì)覆膜面進(jìn)行鹽霧試驗(yàn)，且能夠同步進(jìn)行多組試樣的試驗(yàn)。