一種用于動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜(D-SIMS)分析的樣品制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011030777.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112229699A 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN112229699A 申請公布日 2021-01-15
分類號 G01N1/36(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉嘉輝;徐歡;朱雷;趙弇斐;鄭海鵬;華佑南;李曉旻 申請（專利權(quán)）人 勝科納米（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京崇智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙麗娜
地址 215123江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)9棟507室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜(D?SIMS)分析技術(shù)領(lǐng)域，提出了一種有關(guān)小樣品的特別制備方法，特別適用于測試面邊長不大于200μm的待測樣品，制備方法如下：將膠帶貼在平整的載體上；模具兩端開口，一端開口部分折疊模具材料粘貼到膠帶上，通過另一端開口放入待測樣品以及鑄模材料，待測樣品的測試面黏附在膠帶上，得到載體材料；對載體材料加熱，加熱溫度不小于鑄模材料的熔點(diǎn)；鑄模材料熔化后，液態(tài)的鑄模材料的高度高于待測樣品的高度，加熱完成后，壓實(shí)，去除模具；去除載體以及膠帶，得到待測樣品鑲嵌于鑄模材料中，制樣完成。用該方法制備樣品，制樣成功率高，分析的準(zhǔn)確度和精度也大大提高，并且克服了以往制樣D?SIMS分析結(jié)果不準(zhǔn)確且易引入污染的問題。??