封裝器件水汽入侵路徑檢測方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210164278.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114216954A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114216954A 申請公布日 2022-03-22
分類號 G01N27/62（2021.01）I;G01N15/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 廖金枝;朱雷;張兮;喬明勝;華佑南;李曉旻 申請（專利權(quán)）人 勝科納米（蘇州）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 劉臣剛
地址 215124江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)09棟507室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種封裝器件水汽入侵路徑檢測方法及裝置，該方法包括：基于預(yù)設(shè)示蹤劑對待測封裝器件進行水汽示蹤標(biāo)記，獲取示蹤標(biāo)記樣品；對所述示蹤標(biāo)記樣品進行二次離子質(zhì)譜分析，獲取示蹤標(biāo)記樣品的示蹤劑強度；根據(jù)所述示蹤劑強度確定水汽入侵的路徑和速度。本發(fā)明通過預(yù)設(shè)示蹤劑與二次離子質(zhì)譜結(jié)合，對封裝器件的水汽入侵路徑及速度進行檢測，有利于提高水汽入侵的動態(tài)檢測精度，從根本上提升封裝器件的防潮可靠性。