一種用于SCM截面樣品無損定位的方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111402403.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114088982A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114088982A 申請公布日 2022-02-25
分類號 G01Q60/46（2010.01）I;G01Q30/20（2010.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊慧;劉凌霄;左瑞濤;喬明勝;李曉旻 申請（專利權(quán)）人 勝科納米（蘇州）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京崇智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馬良
地址 215124江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城9棟507室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種用于SCM截面樣品無損定位的方法，包括：標記待測樣品，并根據(jù)所述標記確定待測截面位置；用透明封裝材料封裝所述待測樣品；去除部分所述待測樣品及部分所述透明封裝，并露出所述待測截面；當所述待測截面為目標待測截面時，確定待測點；在與所述待測點位于同一平面的所述封裝上設(shè)定坐標原點，并確定所述待測原點與所述坐標原點之間的相對位置坐標；根據(jù)所述相對位置坐標在掃描電容顯微鏡樣品臺上測試所述待測點。本申請專利提出的方法降低了樣品的制備難度，保護了樣品的完整性，提高了定位的準確度。本申請方法具有操作簡單、適用范圍廣、測試結(jié)果準確的優(yōu)點。