一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連續(xù)真空過渡室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810073878.2 申請日 -
公開（公告）號 CN101403102A 公開（公告）日 2009-04-08
申請公布號 CN101403102A 申請公布日 2009-04-08
分類號 C23C14/56(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋宜梅;黃以平;李少林 申請（專利權(quán)）人 宿遷三鑫科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 桂林市華杰專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 桂林實創(chuàng)真空數(shù)控設(shè)備有限公司;宿遷三鑫科技有限公司
地址 541003廣西壯族自治區(qū)桂林市大風(fēng)山路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連續(xù)真空過渡室，其特征是：它由過渡室箱體、設(shè)置在過渡室箱體內(nèi)的兩套以上的線性動密封裝置、箱體兩端的導(dǎo)向裝置、真空抽氣管管道、鉛擋板、鉛擋板支架和設(shè)置在過渡室箱體外的防護(hù)鉛組成；線性動密封裝置的上下密封壓塊壓緊在密封壓板上，形成真空密封的線性動密封通道；動密封裝置之間設(shè)置有帶鉛板的上下錯開的X射線防護(hù)鉛擋板，真空過渡室外包有防護(hù)鉛，真空抽氣管與真空泵相連。本發(fā)明的優(yōu)點是：能在帶狀金屬材料連續(xù)通過的運(yùn)行狀態(tài)下，保證真空工作室的真空度/壓力達(dá)到0.5-1Pa；進(jìn)出口處X射線劑量達(dá)到安全劑量，真空泵的負(fù)荷較小，真空設(shè)備長期連續(xù)穩(wěn)定地運(yùn)行，加工設(shè)備工作效率高。