掃描電鏡掃描成像的演示裝置和系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021680807.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213277140U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN213277140U | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | G09B23/22(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 楊振英;張偉;高尚;黃夢詩;馬清;劉海濤;周彬;于洪濤 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳市美信檢測技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 黃燕 |
| 地址 | 518108廣東省深圳市寶安區(qū)石巖街道松白公路北側(cè)方正科技工業(yè)園研發(fā)樓1108室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請?zhí)峁┝艘环N掃描電鏡掃描成像的演示裝置和系統(tǒng)，涉及掃描電子顯微鏡領(lǐng)域。該演示裝置包括安裝件、模擬樣品和透光材料制成的光路模型，安裝件開設(shè)有安裝格，模擬樣品設(shè)置于安裝格內(nèi)，光路模型安裝于模擬樣品的上方，光路模型包括用于演示電子束聚焦的上部光路和用于演示電子束偏轉(zhuǎn)的下部光路，上部光路和下部光路固定連接。該演示裝置不使用任何活動部件，直接將預(yù)先制造的光路模型安裝在模擬樣品的表面，可以直觀的了解電子束的聚焦和偏轉(zhuǎn)，進而能夠?qū)崿F(xiàn)直觀地了解掃描電鏡掃描成像的方法和原理。該演示系統(tǒng)能夠清晰直觀的演示掃描電鏡掃描成像過程中大部分的部件以及部件之間的位置關(guān)系。?? |
