石英坩堝制備裝置及降低石英坩堝中脫羥的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111086592.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113772930A 公開（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113772930A 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) C03B20/00（2006.01）I;C03C23/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 何玉鵬;王建軍;鄧紅;李衛(wèi);李常國(guó) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧夏三源鑫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫彥虎
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)光明西路23號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種石英坩堝制備裝置，包括密封殼體、水冷模具、石墨坩堝、第一真空泵、第二真空泵、排氣組件，石墨坩堝的底部嵌入水冷模具，第一真空泵的入口與水冷模具的內(nèi)腔連通，在密封殼體的側(cè)壁上方設(shè)有第一連接口，在密封殼體的側(cè)壁下方設(shè)有第二連接口，排氣組件包括三通接頭、第一閥門、第二閥門、第三閥門，三通接頭的第一接口與第一連接口連接，三通接頭的第二接口與第一閥門的入口連接，第一閥門的出口與第二真空泵的入口連接，第二閥門的入口與三通接頭的第三接口連接，第三閥門的入口與第二連接口連接，密封殼體和水冷模具設(shè)置獨(dú)立真空，能滿足脫羥工藝過(guò)程要求，羥基含量可以降低到20～30ppm，還提供了一種降低石英坩堝中脫羥的方法。