單晶爐擋板閥及單晶爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023280286.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214400797U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214400797U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 馬國(guó)忠;梁萬(wàn)亮;丁亞國(guó);顧燕濱;河野貴之 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧夏三源鑫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫彥虎 |
| 地址 | 750021寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)光明西路23號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種單晶爐擋板閥及單晶爐，屬于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該單晶爐擋板閥包括閘板，閘板的內(nèi)開(kāi)設(shè)有若干相互連通的氬氣分布槽，氬氣分布槽的入口端連接氬氣進(jìn)氣管；閘板的下表面開(kāi)設(shè)有若干氬氣通孔，氬氣通孔連通氬氣分布槽。氬氣經(jīng)過(guò)氬氣分布槽，并經(jīng)由氬氣通孔進(jìn)入單晶爐內(nèi)，在單晶爐擋板閥的下方形成惰性氣體環(huán)境。一方面增加了通入氬氣的分布均勻性，滿足拉制較大尺寸的單晶硅晶棒的氬氣通入需求，有效防止了單晶爐內(nèi)零部件尤其是閘板中部的氧化，避免單晶爐內(nèi)環(huán)境被污染，降低單晶拉制成功率。另一方面，氬氣對(duì)閘板進(jìn)行進(jìn)一步輔助冷卻，加強(qiáng)了單晶爐擋板閥處的冷卻效果。 |
