控制單晶硅尾部長(zhǎng)度的方法及單晶爐收尾方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011553132.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112725883B | 公開（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112725883B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | C30B15/22（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 梁萬(wàn)亮;丁亞國(guó);馬國(guó)忠;顧燕濱;河野貴之 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧夏三源鑫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫彥虎 |
| 地址 | 750021 寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)光明西路23號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種控制單晶硅尾部長(zhǎng)度的方法及單晶硅收尾方法，屬于單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。讀取實(shí)時(shí)收尾長(zhǎng)度L1以及該收尾長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)的實(shí)際收尾重量W1，并通過實(shí)時(shí)收尾長(zhǎng)度L1計(jì)算理論收尾重量W0，比較實(shí)際收尾重量W1與理論收尾重量W0的偏差，如果偏差過大，則對(duì)應(yīng)的調(diào)整實(shí)時(shí)收尾長(zhǎng)度L1時(shí)刻的拉晶拉速或收尾溫度，以降低實(shí)際收尾重量W1與理論收尾重量W0的偏差，達(dá)到控制單晶硅硅棒尾部長(zhǎng)度的目的，避免單晶硅硅棒尾部過長(zhǎng)，導(dǎo)致收尾用料較多，且收尾時(shí)間長(zhǎng)，或者單晶硅硅棒尾部過短，造成位錯(cuò)，使晶體失去完整單晶結(jié)構(gòu)。同時(shí)，控制單晶硅硅棒尾部長(zhǎng)度，也能夠?yàn)槌膳紊a(chǎn)特殊要求的單晶硅硅棒提供可靠的收尾控制參數(shù)。 |
