控制單晶硅尾部長度的方法及單晶爐收尾方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011553132.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112725883B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN112725883B 申請公布日 2022-03-22
分類號 C30B15/22（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 梁萬亮;丁亞國;馬國忠;顧燕濱;河野貴之 申請（專利權）人 寧夏盾源聚芯半導體科技股份有限公司
代理機構 寧夏三源鑫知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 孫彥虎
地址 750021 寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)光明西路23號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種控制單晶硅尾部長度的方法及單晶硅收尾方法，屬于單晶硅生產技術領域。讀取實時收尾長度L1以及該收尾長度對應的實際收尾重量W1，并通過實時收尾長度L1計算理論收尾重量W0，比較實際收尾重量W1與理論收尾重量W0的偏差，如果偏差過大，則對應的調整實時收尾長度L1時刻的拉晶拉速或收尾溫度，以降低實際收尾重量W1與理論收尾重量W0的偏差，達到控制單晶硅硅棒尾部長度的目的，避免單晶硅硅棒尾部過長，導致收尾用料較多，且收尾時間長，或者單晶硅硅棒尾部過短，造成位錯，使晶體失去完整單晶結構。同時，控制單晶硅硅棒尾部長度，也能夠為成批次生產特殊要求的單晶硅硅棒提供可靠的收尾控制參數(shù)。