一種小尺寸板載芯片加工接送料設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911154478.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110797276B 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN110797276B 申請公布日 2021-12-07
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈林;鄒光輝;姜波 申請（專利權(quán)）人 衡陽開拓光電科技有限公司
代理機構(gòu) 棗莊小度智慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周莉
地址 421000湖南省衡陽市雁峰區(qū)岳屏鎮(zhèn)蔡倫大道衡山科學城紅樹林片區(qū)A5棟二樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種小尺寸板載芯片加工接送料設(shè)備，涉及芯片接送料技術(shù)領(lǐng)域；為了解決通過人工肉眼檢測，檢測標準不明確，分揀效率低的問題；具體包括底板，所述底板的頂部固定連接有限位架，所述限位架右側(cè)壁的底部開設(shè)有出料口，所述底板的右側(cè)壁相對出料口位置固定連接有導料板，所述底板上表面的中間位置開設(shè)有檢測口，所述底板的底部相對檢測口位置固定連接有連接塊，所述連接塊正面左側(cè)的底部固定連接有第一轉(zhuǎn)向柱，所述連接塊正面右側(cè)的底部固定連接有第二轉(zhuǎn)向柱。本發(fā)明當檢測到晶圓具有厚度偏差后，通過啟動報警器，提醒工作人員對第二塊晶圓進行分揀，防止有缺陷的晶圓混入成品而導致產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊，方便工作人員進行分揀，提高分揀效率。