用于Veeco K465i的清潔平臺及其清潔方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811453909.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109261660A 公開（公告）日 2019-01-25
申請公布號 CN109261660A 申請公布日 2019-01-25
分類號 B08B9/032;B08B3/12;B08B13/00;F26B23/00 分類 清潔;
發(fā)明人 趙明明 申請（專利權(quán)）人 江蘇中谷光電股份有限公司
代理機構(gòu) 上海信好專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 潘朱慧;朱成之
地址 226017 江蘇省南通市南通蘇通科技產(chǎn)業(yè)園江廣路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于Veeco K465i的清潔平臺，用于清潔Veeco K465i設(shè)備的尾氣管路部件，包含至少兩個相同的堿洗槽，用于浸泡尾氣管路部件；至少兩個相同的純水水洗槽，用于沖洗尾氣管路部件；純水超聲波清洗裝置，用于超聲波沖洗尾氣管路部件；本發(fā)明還提供一種利用所述平臺對Veeco K465i的尾氣管路進行清潔的方法，包含將對管路部件的拆解、除塵、置于KOH溶液浸泡、使用純水沖洗、使用純水超聲波清潔、使用氮氣吹掃、置于無氧化烤箱烘烤、部件組裝等步驟。本發(fā)明的清潔平臺結(jié)構(gòu)簡單，本發(fā)明的方法具有良好的清潔效果，操作方便，節(jié)約了企業(yè)對Veeco K465i設(shè)備的維護成本。