用于Veeco K465i的清潔平臺(tái)及其清潔方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811453909.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109261660A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109261660A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | B08B9/032;B08B3/12;B08B13/00;F26B23/00 | 分類(lèi) | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 趙明明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇中谷光電股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海信好專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 潘朱慧;朱成之 |
| 地址 | 226017 江蘇省南通市南通蘇通科技產(chǎn)業(yè)園江廣路66號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種用于Veeco K465i的清潔平臺(tái)，用于清潔Veeco K465i設(shè)備的尾氣管路部件，包含至少兩個(gè)相同的堿洗槽，用于浸泡尾氣管路部件；至少兩個(gè)相同的純水水洗槽，用于沖洗尾氣管路部件；純水超聲波清洗裝置，用于超聲波沖洗尾氣管路部件；本發(fā)明還提供一種利用所述平臺(tái)對(duì)Veeco K465i的尾氣管路進(jìn)行清潔的方法，包含將對(duì)管路部件的拆解、除塵、置于KOH溶液浸泡、使用純水沖洗、使用純水超聲波清潔、使用氮?dú)獯祾摺⒅糜跓o(wú)氧化烤箱烘烤、部件組裝等步驟。本發(fā)明的清潔平臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，本發(fā)明的方法具有良好的清潔效果，操作方便，節(jié)約了企業(yè)對(duì)Veeco K465i設(shè)備的維護(hù)成本。 |
