氧化硼脫水裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020926823.8 申請日 -
公開（公告）號 CN212870454U 公開（公告）日 2021-04-02
申請公布號 CN212870454U 申請公布日 2021-04-02
分類號 F26B23/04(2006.01)I;F26B25/06(2006.01)I;F26B5/04(2006.01)I 分類 干燥;
發(fā)明人 邢愛君;馬英俊;林泉;許興;李萬朋;張賡;張潔;劉向前;焦雪梅 申請（專利權(quán)）人 北京國晶輝紅外光學科技有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 佟林松
地址 100088北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號二區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導體制備技術領域，具體涉及一種氧化硼脫水裝置，包括：坩堝，用于盛放待脫水的氧化硼；鍋托，坩堝安裝于鍋托內(nèi)；加熱器，包圍所述鍋托的側(cè)面和底面設置，第一保溫件，環(huán)繞設置于加熱器的側(cè)面。該裝置安全性高、運行穩(wěn)定、使用方便、成本低、效率高、提高脫水效果明顯。??