一種步進(jìn)式移動(dòng)平臺(tái)及鍺單晶位錯(cuò)密度測(cè)試裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822048631.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209690198U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209690198U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-26 |
| 分類號(hào) | G01N21/95（2006.01）; G01N21/01（2006.01） | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張路; 馬會(huì)超; 馮德伸 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京國(guó)晶輝紅外光學(xué)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京國(guó)晶輝紅外光學(xué)科技有限公司 |
| 地址 | 100088 北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號(hào)二區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種步進(jìn)式移動(dòng)平臺(tái)及鍺單晶位錯(cuò)密度測(cè)試裝置。該步進(jìn)式移動(dòng)平臺(tái)包括底部支撐板、中部滑板和上部支撐臺(tái)面，所述支撐臺(tái)面上設(shè)有支撐圓環(huán)，所述中部滑板分別與所述底部支撐板和所述上部支撐臺(tái)面滑動(dòng)步進(jìn)連接，并且所述底部支撐板相對(duì)于中部滑板的滑動(dòng)方向與所述上部支撐臺(tái)面相對(duì)于中部滑板的滑動(dòng)方向互為垂直，所述支撐圓環(huán)與所述支撐臺(tái)面轉(zhuǎn)動(dòng)步進(jìn)連接。該裝置包括上述的步進(jìn)式移動(dòng)平臺(tái)。采用該裝置測(cè)試鍺單晶的位錯(cuò)密度，操作簡(jiǎn)單，方便實(shí)用，定位準(zhǔn)確，讀數(shù)精準(zhǔn)的優(yōu)勢(shì)，提高工作效率，解決了現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試位錯(cuò)密度時(shí)存在的操作繁瑣、讀數(shù)有偏差、工作效率較低等技術(shù)問(wèn)題。 |
