一種直拉單晶爐底部用保溫裝置及直拉單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922387139.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211689294U 公開（公告）日 2020-10-16
申請公布號 CN211689294U 申請公布日 2020-10-16
分類號 C30B15/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王宇;馮德伸;于洪國;雷同光;李燕;馬英俊;林泉 申請（專利權(quán)）人 北京國晶輝紅外光學(xué)科技有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京國晶輝紅外光學(xué)科技有限公司
地址 100088北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號二區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種直拉單晶爐底部用保溫裝置及直拉單晶爐。一種直拉單晶爐底部用保溫裝置包括：坩堝桿，以及套設(shè)于所述坩堝桿上的一個或多個保溫板，所述多個保溫板間隔設(shè)置。本實用新型提供的保溫裝置可隨坩堝的升降而移動，保持了坩堝底部與保溫裝置的距離穩(wěn)定，有效的增強了單晶爐中坩堝底部的保溫效果，減少溫度梯度的變化，并且實用方便，效果顯著，適用于低位錯鍺等一些對溫度梯度要求較高晶體的直拉法生長工藝。??