一種用于合成半導(dǎo)體多晶材料的反應(yīng)管裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922396353.9 申請日 -
公開（公告）號 CN211689296U 公開（公告）日 2020-10-16
申請公布號 CN211689296U 申請公布日 2020-10-16
分類號 C30B28/14(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 馬英俊;林泉;許興;李萬朋;許所成;劉向前;邢愛君;焦雪梅;孔鑫燚 申請（專利權(quán)）人 北京國晶輝紅外光學(xué)科技有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京國晶輝紅外光學(xué)科技有限公司
地址 100088北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號二區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于合成半導(dǎo)體多晶材料的反應(yīng)管裝置，包括均為水平設(shè)置的石墨管和熱解氮化硼材料管，熱解氮化硼材料管的外徑接近石墨管的內(nèi)徑，熱解氮化硼材料管位于石墨管內(nèi)，且熱解氮化硼材料管的底部外管壁與石墨管的底部內(nèi)管壁相接觸。石墨管的頂部管壁的兩端分別設(shè)有第一通氣孔，熱解氮化硼材料的頂部管壁的兩端分別設(shè)有第二通氣孔，第一通氣孔與第二通氣孔位置對應(yīng)。本實用新型的反應(yīng)管裝置，能有效地將合成的半導(dǎo)體多晶材料的與石墨隔離，降低多晶材料中碳元素的含量，有效提高晶體的質(zhì)量。??