一種用于芯片自動化檢測的治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922424262.1 申請日 -
公開（公告）號 CN211698073U 公開（公告）日 2020-10-16
申請公布號 CN211698073U 申請公布日 2020-10-16
分類號 G01R31/28(2006.01)I;G01N21/84(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張俊堂;李海峰;魏菊;方正;楊會泉 申請（專利權(quán)）人 豪威半導(dǎo)體（太倉）有限公司
代理機構(gòu) 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉小峰
地址 215411江蘇省蘇州市太倉市科教新城健雄路20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于芯片自動化檢測的治具，包括水平調(diào)節(jié)機構(gòu)、支架、治具底座、治具上蓋、測試鏡頭、水平驅(qū)動機構(gòu)和豎直驅(qū)動機構(gòu)，支架設(shè)置在水平調(diào)節(jié)機構(gòu)上，利用水平驅(qū)動機構(gòu)調(diào)節(jié)支架水平位置，治具底座設(shè)置在支架上，治具上蓋通過豎直驅(qū)動機構(gòu)和水平驅(qū)動機構(gòu)設(shè)置在支架上，利用水平驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動治具上蓋向治具底座水平移動，利用豎直驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動治具上蓋豎直移動，測試鏡頭設(shè)置在治具上蓋上。本實用新型將測試治具分體設(shè)置，通過水平驅(qū)動機構(gòu)和豎直驅(qū)動機構(gòu)實現(xiàn)治具的自動開合蓋；并且在治具上設(shè)置定位凹槽和定位凸塊實現(xiàn)X軸方向的定位，第一定位斜面和第二定位斜面實現(xiàn)Y軸方向的定位，保證測試鏡頭與芯片對齊。??